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詳細(xì)介紹萊寶真空泵的結(jié)構(gòu)功能

更新更新時間:2019-11-04 瀏覽次數(shù):1571

       萊寶真空泵真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用,針對特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。過去的幾年里,為*半導(dǎo)體行業(yè)需求,我們縮短產(chǎn)品開發(fā)周期,更加迅速的推出新的產(chǎn)品,大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。萊寶真空泵需在真空條件下操作的分析儀器行業(yè)是真空設(shè)備醉大和醉復(fù)雜的市場之一。這一市場包括平面分析儀器家族,質(zhì)譜分光光度計(jì),設(shè)計(jì)各異的電子顯微鏡和氦檢漏儀。我們的產(chǎn)品類型眾多,可適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及*簡單的桌面操作。一些關(guān)鍵的性能參數(shù)顯示出萊寶真空泵、測量裝置及部件的工作能力,緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),高超的技術(shù)水平和良好的穩(wěn)定性能。
  萊寶真空泵結(jié)構(gòu)介紹:
  萊寶真空泵安裝在泵體中的偏心轉(zhuǎn)子)有三塊葉片,它們把泵分成三個隔室,每個隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化。
  當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大,將氣體從進(jìn)氣口吸入,氣體經(jīng)過空氣濾芯,打開的防返油閥進(jìn)入腔泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。
  油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是,排氣中油含量下降至低于可見程度。

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