分子泵的性能原理及結(jié)構(gòu)都是怎樣的呢？

　　常規(guī)的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造，使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí)，更使分子泵適合超高真空系統(tǒng)，也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。

　　分子泵與油封式旋片泵和渦輪式干泵相比，工作環(huán)境更加清潔，而且可以達(dá)到*的真空度。但是，分子泵不能在大氣壓下工作，必須和其他能夠在大氣壓下工作的粗抽真空泵(油封式旋片泵或渦輪式干泵)聯(lián)合使用。分子泵構(gòu)造復(fù)雜、價(jià)格昂貴，高速旋轉(zhuǎn)工作時(shí)會(huì)有振動(dòng)。

　　分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動(dòng)量傳遞原理，使分子定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。

　　分子泵在電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上，產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故降，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。